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ボールねじとは、工作機械や半導体製造装置などの産業機械の部品のことです。ねじの軸とその外周に取り付けられたナットの間に、ボール(鋼球)を入れ、ボールの回転を利用して、スムーズにナットを動かすようにしたものです。ねじ軸をモーターで回転させ、回転数、回転速度などを制御することで、ナットの停止する位置や、動く速度を自由に調整できます。ボールねじは自動車(ステアリング等)、ゲーム機、産業用ロボットなど、様々な自動化装置で使用されています。これらは産業機械の位置決めに利用することが多く、半導体製造装置などでは、より高精度の位置決め性能が要求されています。
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